氮化钛涂层是自PVD技术发明以来

，最常见的一种涂层
，具有较高的性价比，也是之前运用的最广泛的一种PVD涂层,它具有较高的薄膜硬度




。

　　用磁控溅射方法沉积的氮化钛沉积速度慢，表面颗粒小所以表面光滑

，而且液滴等表面缺限少,但是表面硬度较低
。

　　用磁控阴极弧的方法沉积的氮化钛
，沉积速度快
，但表面颗粒大，所以表面光洁度较差
，液滴等表面缺陷也较多，但是可以获得较高的表面硬度

。

推荐阅读

电子束蒸发和磁控溅射镀膜区别？

模具真空热处理技术