离子泵检漏法的基本原理与电离真空计检漏法类似，是利用示漏气体进入离子泵时，泵电流将发生变化的特性进行工作的

，根据这种变化
，可检测出真空系统的漏孔
，并可估算漏孔的大小
。

　　在使用带有离子泵的抽气系统，或把被检件接到离子泵抽气系统上去时，人们可以在任何时间
、在压力低于10-2 Pa的条件下
，对系统或被检件进行检漏
。

　　这种检漏方法无须额外仪器

，既灵敏又简便。其示漏气体可选用氧
、氩











、氢等。

　　检漏装置如图离子泵检漏装置示意图所示。首先将离子泵抽空


，抽到较低压力后关闭阀门2
，使离子泵保持在较低压力下工作。接入被检件，用前置泵排气


，当真空度达到1～10-1 Pa时，关闭阀门4并打开阀门2
，用离子泵抽气


。

　　当达到平衡压力后，用示漏气体(如Ar)喷吹可疑有漏孔处
，如喷吹到漏孔处时，示漏气体就会进人系统



，使离子泵的放电电流指示迅速上升
，这是因为泵对氩气抽速较低的缘故。

　　当用氢或氧来检漏时，将会引起泵电流的下降

，因为离子泵对这些气体的抽速比对空气的抽速大

。

　　这种方法的灵敏度为10-4～10-9Pa·m3·S-1。根据漏孔的大小，可以调节阀门2和4的开启程度实现其检漏效能

。检漏时须注意其灵敏度与压力成反比

，因此应尽量在较低的平衡压力下进行检漏;示漏气体最好经过净化处理
。

　　该方法与氦质谱检漏仪相比较具有以下特点

：

　　①造价低，结构简单，用一般无油系统即可;

　　②不存在烧断灯丝的问题;

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