真空镀膜设备的真空系统构成

：

　　目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同，而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别



，归纳起来主要有如下几种系统：通用真空系统、超高真空系统
、制冷机低温泵系统。

　　一：通用真空系统

　　系统的主泵是油扩散泵



，泵上方设有水冷挡板(阱)
，主泵的前级泵为机械泵
。这种系统的工作压强在10-2～10-4Pa的范围内


。

　　二：超高真空系统

　　在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵，就可以使镀膜室真空度提高到10-6Pa以上

，从而得到超高真空系统。由于该系统仍采用油扩散泵，所以还是有油的系统
。

　　镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空

，有利于膜质量的提高


。分子泵抽速很大










，可以缩短工艺周期
。

　　三

：制冷机低温泵系统

　　使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点：无选择性气体


、无碳氢化合物污染

、具有较大的抽气速率、可以获得较低的极限压力、操作简单、蓬盘维护方便
。

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