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| 扩散泵对各种气体抽速的影响 ？ |
| 发布时间 ：2014-09-25 浏览 ：5865 次 |
同一台扩散泵 ，对不同种类的被抽气体，抽气速率是不同的 。从图1中的相对抽速曲线可以看出，对氦的抽速可平行延伸到很高的真空度 ，对氢的抽速很大，这说明扩散泵对较轻的气体抽速较大 ，而对油的裂解物抽速却较小 。 因此要设法减小油的裂解物产生 。 扩散泵的最大出口压力 泵的最大出口压力主要是由最后一级喷嘴结构、尺寸 ，蒸气流特性决定的;为提高最大出口压力 ，必须提高蒸气射流的密度和流量 ，即提高加热功率 。但提高加热功率又会影响抽速和极限压力 。 因此，对每种扩散泵都应经过调试之后 ，给出最佳加热功率。 只要泵的出口压力不高于其最大出口压力泵就能正常工作 。 扩散泵油的返流 油扩散泵工作时，不管使用什么样讷泵油，总有部分油蒸气返流人高真空端 。 这不但影响泵的极限压力，还会对被抽容器造成污染 。采用返油率评价泵的返流特性 。 返油率是指在泵人口处，单位时间 ，单位面积上返回泵油的质量 。 不同泵油返油率不同 ，同一种泵油 ，油温增高时返油率加大 。泵的第一级喷嘴结构 、尺寸 、形状对返油率也有影响 。 扩散泵返流油蒸气的来源如图2所示，主要有以下几个方面： a.凝结于顶喷嘴表面上的油膜的再蒸发; b.泵壁上凝结油膜的再蒸发和爬移;c.喷嘴喷出的高速蒸气射流碰到泵壁后的散射; d.油蒸气由喷嘴喷出后，由于油蒸气分子的热运动、碰撞 、反弹 ，包括泵油爆沸产生的飞溅和压力起伏引起的油分子直接向高真空侧返流 。 在顶喷嘴上加一个优选形状的挡油帽 ，可使返油率大大降低 。这种挡油帽的挡油效果较好且对泵抽速没有太大的影响 ，所以在现代扩散泵的设计中经常采用这种结构。 在顶喷嘴上方，紧贴泵壁加一挡油环 ，经实验得知，返油率最多可减少20%。 在对降低泵的返油率有更高要求时 ，可以在抽气系统上采用各种结构的冷阱和障板 。 也可以设计成如图4的低返油率扩散泵 。另外，调好泵的最佳加，热功率值的方法亦可使返油率减小 。 在泵加热开始和终止时，返油率将出现峰值 ，可以用控制泵口处的阀门的方法来克服 。 相关阅读 |
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