真空计是测量真空度或气压的仪器。

　　一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量
。

　　1
、用电离计检漏时，示漏物质应选用电离效果与残余气体有尽可能大差异者

，电离效果包括电离几率及电离电位两者的综合结果
，一般用氢

，氦


，氩，二氧化碳等。

　　2、用热真空计检漏时
，示漏物质可用氢

，二氧化碳

，丙酮
，乙醚，酒精等

。一般说来，用气体喷吹比用液体覆盖为好，因为液体往往会堵塞漏孔

，还会污染真空系统或器件
，热真空计因为惯性大



，反映慢



，检漏时巡喷速度不宜过快


，并要仔细观察
，认真判别是系统的压强波动
，仪器的漂移或是真正存在漏孔。

　　只有示漏物质离开后


，仪器指示恢复原状的

，才是真正的漏孔
。热真空计检漏
，要在它的测量范 围的真空度下
，才能有效
，即只适用于10-1—10-3 托的真空度范围

。

　　它能检出的最小 漏孔为1*10-5 托升/秒

。

　　电离计的反应比热真空计快
，但因示漏气体在真空系统中建立足够分压需要较长时间
，故巡喷速度亦不能太快。电离计能检漏的压力范围

，大致同于其测量范围




，故各种类型电离计各有其检漏的压力范围




。

　　电离计能检的最小可检漏孔约为 1*10-6—1*10-7 托升 / 秒。

　　在真空计检漏中，即使示漏气体对着漏孔喷吹
，或者示漏液体涂于漏孔
，实际上都不可避免要夹带有空气进去


，即示漏物质并没有彻底取代空气



。

　　带进去的空气一方面冲淡了示漏物质的作用


，另一方面还会引起不必要的读数波动，因为混进的空气分量时大时小。

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