真空镀膜机

，在经过一段长时间的抽气过程之后

，如果达不到预定的极限真空
，其原因可根据实际情况进行分析和判断以找出问题所在：

　　(1)真空泵工作是否良好;

　　(2)真空系统内是否存在严重放气;

　　(3)真空系统容器壁或间隙处是否漏气;

　　(4)是否漏气与放气现象共存。

　　查找上述几项原因的最普通方法是静态升压法




。这种方法通常是把被检测的容器抽到一定的低压后，将阀门关闭
，使容器与泵隔离

，然后测量容器内的压力变化
，做出压力随时间的变化曲线
，就可以得出如图1所示的图形。

　　若图像呈现出图1中直线a的情况，即压力保持不变

，但其压力的恒定值Pb高于所要求的极限压力值

，那么真空容器中真空度抽不上去的原因就是真空泵工作性能不良

。

　　若图像出现图1中曲线的情况

，即压力开始时上升较快，然后上升速度渐缓并逐渐趋于水平恒定状态
，这说明主要是由开始抽气后产生的放气造成的
，因为不论是蒸汽源的放气或材料的放气


，在达到一的压力后都会呈现出饱和状态的趋势。

　　若图像显现出斜线c的情况，即压力是直线上升状态
，这就是漏气;其漏气率正比于内外的压力差

。

　　若图形是呈现出曲线d的情况，即压力开始上升很快
，但逐渐变得缓慢，而并不出现饱和状态



，实质就是曲线b与斜线c的叠加，即设备同时存在漏气与放气两种现象


。

　　只要判断出上述4种情况后

，就可以采取相应的措施加以解决
。

　　对直线a与曲线b均可以从选泵、设计时选用合适的材料及结构
，并注意从真空卫生等有关方面加以解决即可



，并不属于真空检漏的技术工作范围
，因此在真空检漏技术中主要是解决斜线c与曲线d的问题
，即判断真空系统确实存在漏气现象之后，就可以开展具体的检漏工作了


。

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