离子泵是一种可以应用于超高真空下的清洁无油真空泵，以下离子泵维修内容仅供学习
。

　　一
、关于烘烤。

　　溅射离子泵如果长期暴露于大气中

，会因为泵内的钛沉积层吸附水汽，导致泵启动困难

、极限压力升高、抽速变小等问题
，因此启动前需要经过烘烤



。烘烤时需要将磁钢


、各种引线

、橡胶密封圈等拆下，缓慢升温至250～300℃
，然后恒温12小时
，并且保证烘烤时泵内真空度不低于0.1Pa
。

　　二




、清洗处理




。

　　离子泵如果受过油蒸气或者其他有机物污染

，阴极板氧化或大量排过氢气，会影响到它的真空度
。这时一般会在烘烤除气后再进行氩清洗处理。

　　过程是用氩离子轰击钛板
，将阴极板上的污染物或溶解在阴极板里的氢轰击出来，再被大量溅射的钛所吸收或埋葬掉




。充氩压力维持在10-2Pa量级或观察离子流维持早10～200mA之间摆动。整个清洗过程大约在1～2小时






。

　　三



、使用压力与寿命。

　　离子泵的溅散率取决于轰击的离子数与能量
，压力越高，阴极溅射越剧烈，因此它的使用寿命是与工作压力成法比的
。所以虽说溅射离子泵的工作压力范围可以从1Pa到10-10Pa
，但为提高溅射离子泵的使用寿命








，尽量不要在10-2Pa以上的压力范围下工作
。

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，仅供学习和参考!