1

、真空镀膜机扩散泵的冷却水在工作过程中一定要平稳，停止加热后





，待泵工作液完全冷却后再关闭冷却水。

　　2
、扩散泵停止工作时


，应保持泵处于真空状态，以免泵油变质。

　　3
、被扩散泵送的气体应是干燥

、无腐蚀性、无粉尘的气体。

　　4


、如果扩散泵暂时不使用
，储存时应保持真空状态
，以免泵油污染和腐蚀各部件






，并将冷却水套的剩余水吹干净。将室温保持在10至40摄氏度之间

。

　　5





、扩散泵性能在长期工作后会逐渐恶化

，应定期检查
。如

、泵油是否被还原或氧化


，按相应要求进行加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗
，然后用丙酮擦洗
，在80-100摄氏度下烘干或用吹风机吹干。加工后，依次组装
，保持泵芯与泵底垂直，泵腔同心，各级喷嘴间隙应按原要求调整


。

　　6、待水挥发干燥后，安装泵芯
，添加新的扩散泵油，并安装回机体
，连接水管，安装炉板，即可重新启动。

　　7、在重新开启真空镀膜机之前
，要注意检漏

。方法是、启动维修泵，关好门，几分钟后

，观察真空度



，并检查连接处密封胶圈是否泄漏，或密封圈是否断裂。隐藏的漏气可以在消除前加热


，否则扩散泵油烧坏无法进入工作状态

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