展览时间：2022年5月26-28日 

　　参展范围 

　　1

、真空获得设备


：旋片真空泵
、油扩散泵

、罗茨真空泵



、油增压泵、涡轮分子泵
、分子筛吸附泵、钛升华泵等真空获得设备;

　　2


、真空应用设备

：各种真空冶金设备与热处理设备
、真空电镀设备、真空冷冻干燥设备及包装设备等;

　　3
、真空镀膜设备：包括各种靶

、靶材、消耗材料及各种电源;真空镀膜加工;

　　4




、纳米科技与装备

、纳米材料与纳米器件;

　　5、真空阀门及真空零部件：包括各种真空电子元器件
、真空系统附件及真空动、静密封器件等;

　　6、真空测量与校准仪器
、仪表及真空检漏仪器;

　　7



、真空材料、真空泵油及真空工程配套设备;

　　8


、各种表面仪器(AES
、SEM
、XPS
、SIMS等)及分子束外延设备(MBE)。