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    真空镀膜机真空计种类?
    发布时间 :2021-05-18 浏览:2643 次

      电阻真空计(又叫皮喇尼真空计) :

      它主要由电热丝     、外壳和支架构成 ,主要是根据在低压下    ,气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的 。上面开口处与被测真空系统相连接    ,热丝采用电阻温度系数大的金属丝做成 ,两支支架引线与测量线路连接。当压强降低的时候,由于气体热传导散失的热量减小,因此当热丝加热电流稳定时候,则热丝温度就上升,热丝的电阻就增大,用测量热丝电阻值的大小来间接测量压强 。

      磁控放电真空计 :

      工作原理:在放电开始时 ,由于空间游离电子向阳极运动时,在正交电磁场作用下  ,电子的轨迹不是直线而是螺旋线前进 ,又因为阳极是框形,故电子不一定第一次就碰上阳极,而是穿过阳极 ,然后受到对面阴极的拒斥,又复返回 。这样反复多次才可能打上阳极   。由于电子路程大大加长,故碰撞及电离的分子数增加 ,使得在较低压强(10-4帕以下)仍维持放电(也称潘宁放电)    。

      目前比较多的型号有PKR251    、GI-PARY

      放电管真空计:

      在玻璃管中封入两个金属电极  ,在其上加上数千伏的直流高电压,在一定的压强范围内(1*10-3~2*10托)内就能引起自持放电 ,通过放电颜色来判定其真空度 。 目前为止此种真空计已经很少使用,因为其误差大   ,容易损坏  ,而且寿命不长  。

      
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