一、当正在镀膜时真空度突然下降

　　1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)

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、坩埚被打穿(更换坩埚)

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、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)

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、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

　　5




、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

　　6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

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、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)

　　8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)

　　9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

　　10
、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)

　　二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空

、极限真空






、保真空
：

　　1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)

　　2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)

　　3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)

　　4


、各动密封胶圈损坏(更换胶圈)

　　5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)

　　6

、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)

　　7

、各引入座螺钉
、螺母有无松动现象(重新压紧)

　　8




、高低预阀是否密封可靠(注油)

。

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