展览时间
：2020年10月10-12日

　　展览地点
：上海光大会展中心(上海市漕宝路88号)

　　同期活动
：同期召开多场技术研讨会及活动吸引用户及本行业人士莅临交流;

　　参展范围
：

　　靶材：溅射靶材
、金属靶材、合金靶材

、陶瓷靶材、合金靶材
、单晶靶材
、氧化物靶材
、硼化物靶材
、碳化物靶材

、贵金属靶材、稀有金属靶材(钛、铌


、锆、镍、钽
、钨
、钼



、铪、铬

、银等)
，单一金属靶材、蒸发材料

、特种靶材等各类靶材;

　　镀膜材料

：金属膜料、氧化物

、氟化物、硫化物




、钛酸物
、混合物等各种膜材





、镀膜蒸发料;PVD涂层

、TiN涂层、TiC涂层、TiCN涂层
、ZrN涂层



、CrN涂层
、MoS2涂层

、TiAlN涂层


、TiAlCN涂层

、TiN-AlN涂层

、CNx涂层、DLC涂层
、ta-C涂层等多元复合涂层;

　　低温超导薄膜：低熔点超导薄膜

：低熔点超导薄膜

，合金薄膜;高熔点超导薄膜：难熔金属
，合金薄膜;化合物超导薄膜


： NbN和Nb3Sn




、Nb3Ge薄膜;高温超导薄膜;钇系薄膜



、铋系薄膜和铊系薄膜;

　　功能薄膜
：光学薄膜，背光/显示用膜

，显示屏用膜，产业用薄膜，光伏薄膜;

　　镀膜设备：真空镀膜机


、真空蒸镀设备
、光学镀膜机、溅射镀膜机、眼镜镀膜机

、光纤镀膜、CVD设备
、MOCVD设备




、薄膜沉积设备、玻璃镀膜设备

、磁控镀膜



、蒸镀设备、离子束沉积设备、电子枪

、离子源;蒸发沉积掩膜
、晶振片






、镀膜夹具
、配件

、仪器
、镀膜测试与监控设备
、膜厚监测仪






、镀膜牢固度测试器等;

　　镀膜材料生产加工设备：冷等静压机，热等静压机，磁控溅射热蒸发
，铜带铜铟硫技术与设备
，高温钎焊炉
，烧结炉


，中频感应炉，电子束区熔炉，电子束熔炼炉
，大面靶材钎焊炉
，高温真空热压炉，轧机等;

　　超导器件
：超导隧道器件
，超导量子干涉器件，

　　薄膜成型机械
、检测检验仪器

、特殊装置
、薄膜原料及化工产品;

　　洁净工程：洁净


、防护系统，屏蔽防护产品
、屏蔽机房设备、屏蔽桌/台/柜

，安全防护服、洁净室耗材



、防静电产品等;

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