真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂
。处理起来很棘手
，可以考虑从以下几个方面排除：

　　1、表面清洁度

　　产品表面洁净度不够，可以考虑离子源清洗时氩气放大

、时间长点

。

　　2、清洗过程中的问题

　　镀前清洗不到位

，或更换了清洗液。

　　3

、工艺的问题

　　工艺参数是否有变动



，在镀膜时间和电流上做适当调整


。

　　4、靶材的问题

　　钛靶是否中毒
，检查和更换






。

　　5、真空腔是否漏气

　　进行一次捡漏

。

　　6、产品表面氧化

　　氧化的原因很多

，可以自行判断处理。

　　本文由真空镀膜机厂家尊龙凯时人生就是搏真空收集整理




，仅供参考!