真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或化学方法
，使物体表面获取所需膜体，真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀
、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等，这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜机镀膜



。

　　真空室是真空设备的一个主要部位
，真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性



，结构必须要合理，真空设备的材料生产都是在真空室内进行的

，材料对真空度的影响要小，设计不能马虎






，要注意一些问题。

　　使用磁控溅射的真空镀膜设备通常采用的是圆筒主体结构
，结构上要保证快速抽空

，因气袋会缓慢的放气，因此要避免出现隔离孔穴，真空系统上端会加装磁控溅射枪
，为了使真空室和元件有足够的强度
，保证在外部和内部的作用力下不产生形状的变化
，厚度需要足够
。

　　焊接是真空室制造中的一道重要 工序，保证焊接之后的真空室不会产生漏气现象
，须合理设计焊接结构，提高焊接质量



，处在超高真空的内壁粗糙度要抛光使室外室内表面很光洁，须特别注意的是防止生锈。

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