首先检查真空容器所处状态
，处于真空下或者处于大气中

。决定了两种启动真空设备的程序




：第一种，真空下操作程序


。第二种
，大气状态下操作程序



。

　　1
、如果容器处于低真空状态下

，不能立即打开闸板阀以免引起真空油的回流。

　　正确的操作步骤是先打开水龙头，然后打开机械泵，同时打开真空计电源，观察真空计读数到达30Pa左右时
，再打开分子泵
，看到分子泵的工作频率达到50Hz左右时方可打开闸板阀
。

　　2
、如果容器处于大气下，首先要做的是检查大漏
，即关闭容器大门和放气阀。然后打开水龙头
，闸板阀

，机械泵
，真空计电源


，观察真空计读数到达30Pa左右时，再打开分子泵

。

　　3

、等到分子泵正常工作后(工作频率稳定在450Hz)
，按下真空计中电离计单元的启动键对真空度进行观测。

　　4、在真空达到 Pa时可以打开离子泵
，此时先关闭分子泵处的闸板阀



，但不要关闭分子泵，等到离子泵的电压达到4000V时(离子泵稳定工作后)再关掉分子泵
，机械泵。

　　5、如果不需要维持真空时
，先关掉真空计电源



，后只需要把离子泵的闸板阀关闭即可
，不关闭离子泵，而是让离子泵处于工作状态保持其内部环境。

推荐阅读

热真空模拟试验设备的环境参数

真空设备排气工艺概述