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    喷吹法真空检漏技术分析
    发布时间:2014-10-06 浏览:4031 次

      喷吹法是氦质谱检漏仪最常用,最方便的一种检漏方法   。

      检漏时首先预抽被检件 ,并调整检漏仪    ,使其处于正常的工作状态;然后开启检漏仪节流阀   ,使被检件与检漏仪连通,调整好检漏仪  ,使其处于待检漏状态;用喷枪(或喷嘴)在被检件可能存在漏孔的部位喷吹氦气。

      喷吹一定时间后 ,检漏仪即可指示出被检件是否存在漏孔及漏孔的漏率。

      检漏时 ,喷吹示漏气体时间要适当,太短时检漏灵敏度低 ,太长时检漏效率低       。如果要求检验灵敏度为qldmin;当检漏仪接在高真空侧时 ,其喷吹时间ts,可由式(qldmin=qlemin×nS/SiHe)×[1-exp(-nts/τ)]-1求得为

      ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnS)/(qldmin×SiHeγ))

      当检漏仪接在前级真空侧时 ,可求得

      ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnbSb)/(qldmin×SiHeγ))

      喷枪移动速度U与喷嘴直径d及喷吹时间ts有如下关系

      υ=10d/ts

      检漏时,以式(15-26)计算的移动喷枪速度进行喷吹时   ,较为合适。

      喷吹法检漏可采用标准漏孔比对法确定漏孔漏率 。若已知一标准漏子L的标称漏率为qLo  ,将其设置在与被检漏孔基本相当的位置,用氦喷吹醛的输出信号为J   。   ,而用相同示漏气体在同样条件下喷吹被检漏孔时  ,其输出信号为I   ,则被检漏孔的漏率为

      qL=I/Is×qLo

      喷吹法检漏时应注意的问题是:

      (1)由于氦气轻  ,喷吹检漏时  ,应从被检件上方开始检漏 ,逐渐向被检件下方移动喷枪;由靠近检漏仪处检漏逐渐移至远处;先用大气流粗检找出漏孔所在区域后,再用小气流精检以找出漏孔的确切的位置。

      (2)当存在两个相距很近的可疑漏孔时 ,应注意喷枪喷出氦气流方向(或盖住一个漏孔点)进行检漏 。

      (3)检出的漏孔应复查  。

      (4)检漏场地要有良好的通风条件 ,但不得影响喷枪喷出的氦气的流动的方向   。

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