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| 真空镀膜机真空计知识 |
| 发布时间 ：2014-09-10 浏览：5251 次 |
真空计 ：真空计是真空镀膜设备上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段 。 真空计根据其工作原理可以分为绝对真空计和相对真空计 ，绝对真空计可以直接测量压强的高低 ，相对真空计只能间接测量真空度。 本文重点介绍镀膜机器上面常用到的以下几个真空计 ： 点阻真空计(又叫皮喇尼真空计) ：它主要由电热丝、外壳和支架构成，主要是根据在低压下 ，气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的。 上面开口处与被测真空系统相连接 ，热丝采用电阻温度系数大的金属丝做成 ，两支支架引线与测量线路连接。当压强降低的时候，由于气体热传导散失的热量减小，因此当热磁加热电流稳定时候 ，则热丝温度就上升 ，热丝的电阻就增大 ，用测量热丝电阻值的大小来间接测量压强 ，有以下关系：这就是电阻真空计的工作原理 ，此真空计的测量范围是 ：100-10-1帕之间 ，目前采用的型号是磁控放电真空计 ： 工作原理：在放电开始时 ，由于空间游离电子向阳极运动时 ，在正交电磁场作用下 ，电子的轨迹不是直线而是螺旋线前进，又因为阳极是框形 ，故电子不一定第一次就碰上阳极 ，而是穿过阳极，然后收到对面阴极的拒斥 ，又复返回 。这样反复多次才可能打上阳极 。 由于电子路程大大加长 ，故碰撞及电离的分子数增加 ，使得在较低压强(10-4帕以下)仍维持放电(也称潘宁放电) 。 目前比较多的型号有PKR251 、GI-PARY放电管真空计 ：在玻璃管中封入两个金属电极 ，在其上加上数千伏的直流高电压 ，在一定的压强范围内(1*10*3~2*10托)内就能引起自持放电，通过放电颜色来判定其真空度 。 目前为止，此种真空计已经很少使用 ，因为其误差大，容易损坏 ，而且寿命不长。 以上资料由尊龙凯时人生就是搏真空(https://www.chuchuquan.com)收集整理，我公司专业维修各种进口真空镀膜设备以及Polycold维修,因为专注所以才专业! 相关阅读 |
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