造成分子泵转子
、静子打碎的原因比较多
，归纳起来主要是以下几点：

　　1
、误操作;比如突然的破真空




，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小
，如果叶片的材质比较薄或者比较软

，突然的空气阻力会造成叶片变形




，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎
。

　　2


、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的


，另外掉进去的东西不一定要多大



，但如果硬度够了一样会造成伤害
，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状




，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入






。

　　3

、电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。

　　4、前级泵的效率差;尊龙凯时人生就是搏知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出
，真空达到一定程度分子泵才会启动

。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力
，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

　　5
、分子泵保养时的动平衡没有做好

，这是技术的关键，动平衡差
，振动就大，抽气效率就差


，也容易造成轴承部分的过度磨损




。

　　6
、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。

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