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真空阀在真空镀膜机中的作用 |
发布时间:2014-08-09 浏览:4623 次 |
1.开关气路,当阀1和阀4关闭,阀2打开时,机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空,气流流经预真空抽气管路;当阀2关闭,阀4打开时,机械泵可单独对扩散泵抽真空;当阀1和阀4同时打开时,扩散泵和机械泵可同时工作,对容器进行抽空,此时气流流经扩散泵。可见,阀门在这种操作中的作用是开关气路,改变气流的流经路线。 2.控制气流大小,调节真空度在图1中,调节阀1的阀盖开启角度,即可调节流经管路的气流量大小;关闭阀2和阀4,通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气;通过放气阀5可以调节容器内的真空度。 3.定量充气,在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞,当小洞转向右边和高压气瓶连通时,小洞中就可充满高压气体;当它转向左边和真空容器连通时,就把该体积的高压气体放进容器中去,这样就起到了定量充气的作用。 真空阀门的种类繁多,通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类。 以上就是尊龙凯时人生就是搏真空整理的关于真空镀膜机中真空阀的作用,仅供参考,进口真空镀膜机维修就找尊龙凯时人生就是搏真空,省钱,省时间,价格公道技术好! 相关阅读 |