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| 真空镀膜机检漏技巧 |
| 发布时间 ：2014-08-07 浏览 ：4892 次 |
首先对于正在加工制造过程中的真空容器或装装置来说，最好采用气泡检漏法。 气泡检漏法是在被检件内充入一定压力的示漏气体后放到液体中 ，气体通过漏孔进入周围的液体形成气泡，气泡形成的地方就是漏孔所在的位置 ，根据气泡形成速率 、气泡的大小 ，以及所用气体D液体的物理性质 ，可以大致估算出漏孔漏率。 在用肉眼观察时 ，一般会出现3种情况：第一种是出现的气泡小 ，形成速率均匀，气泡持续时间长，其漏率范围大约为10-5～10-2Pa·m3·S-1;第二种情况是现随机的大小气泡混合现象 ，其漏率范围约为10-2～10-1Pa·m3·S-1;第三种情况是气泡大，形成速率快 ，持续时间短 ，漏率范围大约为10-1～1Pa·m3·S-1。 其次，对于正在使用过程中的真空容器或装置来说 ，似乎没有损坏什么 ，但发现压强急剧上升时 ，首先用点着的真空规和作为漏液体的酒精或丙酮 ，检查认为容易损坏的地方 。 虽然做了上述种种努力还是找不到漏孔，则要用罩子(积分法)或压强上升法来判断是否漏气 。 所谓罩子法 ，用乙烯塑料袋(罩子)把整个装置罩起来，再把氦气充入袋中 ，也就是将整个真空容器浸在氦中进行检漏的方法 。 所谓压强上升法 ，在充分抽气之后 ，关闭主阀、粗抽阀和漏气阀，用B-A电离真空规测定器内压强上升的变化情况来判断有无漏气的一种方法 。 它是漏气所产生的压强上升部分和材料放气所产生的压强上升部分之和，最终现为与时间成正比的直线上升 。当曲线呈现上述这种状态时，表明装置漏气 。 因为，没有漏仅有材料放气 ，曲线应呈现饱和状态;没有材料放气只有漏气时，一开始就是一条与时间成正比的直线。 一旦操作熟练了 ，则不仅可以分析残余气体 ，而且还可大致判断是否有漏(注意02峰和Ar峰，如有02峰 ，首先可以认为是漏气;即使看不到02峰 ，只要Ar峰比正常的大讦多 ，也可认为装置有漏) 。用罩子法检查可以节省时间，因此 ，为了判断是否漏气 ，最好采用罩子法 。 若装置有漏，而漏孔并非装置内压强的限制因素，那么 ，不探漏，经烘烤后也可以进一步善真空度 。 4)检漏。要找到漏气的地方 ，不外乎对可能漏气的地方逐个地进行检查 。其注意事项列举如下 ： ①用比大气轻的气体氦作示漏气体时 ，应从装置的上方开始(从下方开始检查时，由于氦气上升从上方漏孔处漏人 ，会误认为喷吹处有漏)，如果用比较重的气体丁烷 、丙烷和酒精(液体)等 ，则从装置的下方开始。 ②如果找到了一个漏孔 ，就用乙烯塑料带(一种不能透过示漏气体的物质)贴上，暂时将漏孔堵住，以免误认为是下一次检查时的漏孔 ，然后再继续检查 。 ③要是全部检查完了，就再一次用罩子法复查一下，看看是不是还有漏孔(因为漏气的地方已用乙烯塑料袋堵住，所以在已经找到的漏孔之外 ，如果没有再发现漏孔的话，就可以确认为不漏气了) 。假如判断为不漏气，就可着手进行修理 。 综上所述 ，如果要想很快的找到真空镀膜机漏孔 ，就需要相当丰富的经验和技巧 。虽说真空镀膜机检漏没有一定的操作规程 ，可还是有一定的技巧可言 。 相关阅读 |
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