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为什么真空镀膜机精抽太慢? |
发布时间:2014-08-06 浏览:4368 次 |
尊龙凯时人生就是搏真空提醒您,真空镀膜机精抽太慢主要从以下几个方面进行原因查找: 一、扩散泵可能不太给力。 解决办法:可以用电离规单接到扩散泵泵口,看扩散泵单抽能达到多少,要看抽的时间和极限,然后进行对比。 二、真空系统有微漏。 解决办法:这就需要慢慢检漏,看看保真空时间能不能达不达标 三、箱体太脏,太脏放气量就大了。 解决办法:清洗箱体 四、前级不行机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行。 解决办法:可以用电阻规单独检测前级管道。 相关阅读 |