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真空系统的一般分类是怎样? |
发布时间:2014-08-04 浏览:4109 次 |
真空系统的形式一般可分为:低真空系统、中真空系统、高真空系统以及超高真空系统。 低真空系统:这种真空系统的极限真空度在低真空范围内,只需用机械泵给真空室排气,系统比较简单。 中真空系统:这种系统应用比较普遍,许多应用设备都采用这种系统。如自耗炉真空系统、感应炉真空系统、热处理炉真空系统等。中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的。 高真空系统:高真空系统应用也比较广泛。它的工作压强范围在6.67×10-2~1.33×10-3Pa。如镀膜机、电子轰击炉和部分电阻炉等,都采用高真空系统。 超高真空系统:超高真空主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。 由于这些现代科学技术发展的需要,大大促进了超高真空技术的发展, 目前超高真空实用真空度已达到10-12Pa。 东莞尊龙凯时人生就是搏真空科技有限公司主要从事超低温和超高真空系统的维护保养服务,从提供美国野马真空系统等进口真空系统销售及售后服务,本公司有数十位经验丰富的技术人员,为你解除各种设备的疑难杂症。 相关阅读 |