真空镀膜设备系统的安装和使用

1 讲究真空卫生
    从事真空操作的车间应当保持清洁的工作环境


。对要装配的组件和材料必须认真地进行清洁处理。如果没有处理好，带到系统内的污物将成为放气源
，给执真空工作带来困难
。

    装时应采用抽气和找漏相结合的方法

    现以扩散泵机械泵系统为例
，加以说明
。首先装好机械泵，抽气后达到要求的真空度再装扩散泵并抽空检查

，符合扩散泵真空度的要求后才安装被抽容器
。决不能把很多真空元件不经检查
，一次安装完毕
。否则

，一旦发生漏气

，找漏孔就会十分困难。假如系统安装后仍产生漏气

，则要采用分段检漏方法按图1所示，将检漏仪器5安装在靠近机械泵6的位置上，在阀门2.4关闭的情况下
，检漏仪器5可检查低真空系统的漏气情况。假如这部分不漏气或已把漏孔堵死
，则可打开阀门4检查扩散泵部分有没有漏气



，最后打开阀门2检查被抽容器有没有漏气。这种方法比较简单易行而且节省时间



。

    真空镀膜设备系统分段检漏示意图

3 橡皮封口和金属零件表面不得有伤痕，安装时避免划伤
。

二




、使用
真空镀膜设备系统的使用与维护不能马虎。首先要有好的工作环境





：室内温10-30oC


，相对湿度不大于65%



，冷却水进水温度不超过25oC，电源的电压允许波动范围±10%,



。还要根据真空系统的实际情况制定合理的操作规程
。第一次使用时要对所有的零部件进行擦洗和烘烤

，检查电源线路是否正常


，电源电压是否符合要求。检查各组件如机械泵、扩散泵

、阀门是否正常
，第一次使用时可能因长期搁置
，真空系统中各组件表面和泵油吸附很多水蒸汽和各种气体，所以抽真空时很可能达不到要求的真空度。这时可以反复的作二、三次放气和抽真空

，使各组件和泵油充分的脱气。如果第三次抽气时真空度仍达不到要求，就说明该系统可能漏气了
。

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