蒸发镀膜设备工作方式就是置待镀材料和被镀基板于真空室内

，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发

、升华


，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺.

    在真空条件下成膜可减少蒸发材料的原子






、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等），以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量
，从而提供膜层的致密度
、纯度

、沉积速率和与基板的附着力
。

    通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa，对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合


，则要求压力更低
。

蒸发镀膜设备

1. 关闭泵加热系统


，然后分离蒸镀室（主要清洁灰尘
，于蒸镀残渣）
2. 关闭电源或程序打入维护状态



。真空蒸发镀膜机
3. 清洁卷绕系统（几个滚轴，方阻探头，光密度测量器）
4. 清洁中罩室（面板四周）
。溅控溅射镀膜机
5. 泵系统冷却后打开清洁（注意千万不能掉入杂物
，检查泵油使用时间与量计做出更换或添加处理）
6. 检查重冷与电气柜设备。立式单开门镀膜设备

东莞尊龙凯时人生就是搏真空科技有限公司专业提供进口真空镀膜设备保养，进口真空镀膜机升级改造

，美国Polycold补集泵销售


、维修
，同时还是美国野马真空系统中国华南区总代理
，如您的进口真空镀膜设备有问题


，请联系尊龙凯时人生就是搏
，24小时服务热线



：13827202848    400-6887599 

阅读本文的人还阅读：

真空镀膜设备选择要点

进口镀膜设备-美国野马真空系统