镀膜设备技能需求

1、镀膜设备中的真空管道
、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的规划方式

，应契合GB/T6070的规则

。

2
、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应设备真空丈量规管


，别离丈量各部位的真空度。当发现电场对丈量形成搅扰时，应在丈量口处设备电场屏蔽设备

。

3

、若是设备运用的主泵为分散泵时
，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱

4


、镀膜设备的镀膜室应设有观察窗
，应设有挡板设备。观察窗应能观察到堆积源的作业情况以及其他关键部位。

5







、离子镀堆积源的规划应尽能够进步镀膜过程中的离化率

，进步镀膜资料的利用率

，合理匹配堆积源的功率

，合理安置堆积源在真空室体的方位
。

6
、合理安置加热设备
，通常加热器规划规划应使被镀工件温升均匀共同
。

7
、工件架应与真空室体绝缘，工件架的规划应使工件膜层均匀

8

、离子镀膜设备通常应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有按捺非正常放电设备


，保持作业安稳

9

、真空室接不一样电位的各部分间的绝缘电阻值的大小

，均按GB/T11164-1999中的4.4.6
1、镀膜设备环境温度
：10-30oC
2、镀膜设备相对湿度：不大于75%
3


、镀膜设备冷却水进水温度


：不高于25oC
4
、镀膜设备冷却水质





：城市自来水或适当质量的水
5、镀膜设备供电电源：380V三相50Hz或220V单相50Hz(由所用电器需求而定)
；电压动摇规模


：342-399V或198-231V
；
频率动摇规模

：49-51Hz.
6

、镀膜设备所需的压缩空气
，液氮，冷水
、热水等的压力、温度

，消耗量等
，均应在产品运用说明书中写明。
7、镀膜设备周围环境整齐


，空气清洗


，不该有导致电器及其他金属件外表腐蚀或导致金属间导电的尘土或气体存在



。

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