Polycold是低温水汽捕集泵
，（waer vapor cryopump）的一个品牌，Meissner 先生发明了这个产品，（waer vapor cryopump）和相关的应用

，并注册了品牌Polycold







。目前该品牌是属于 美国brooks公司
，国内用户对这个产品多直接使用Polycold称呼
。-145℃水汽捕集泵 -145℃ Water vapor cryopump又称POLYCOLD


、快速循环水汽深冷泵
、超低温捕集泵
。

Polycold应用原理

在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽




、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长




，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响


。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择


。深冷泵的工作原理
：将一个能到-120℃以下的制冷盘管
，放置在真空室中或油扩散泵的泵口
，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体

。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级

，达到10-8 Torr
、10-5 Pa)


。

Polycold维修

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、维修



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