现在的真空镀膜机设备是做得越来越好了
，由一开始功能比较单一的发展到现在多功能结合的真空镀膜机
，而且还会做得更好




。

    对于真空镀膜机的真空室，可以用不锈钢或碳钢或其两者组合使用制作

，做成单开门或者又开门，可以通过利用电阻加热
，也可以利用感应加热






，如果是电阻加热的话



，使用的材料有石墨



、钨、钽

、钼

、镍铬这几样

，加热后要进行保温
，设置了保温层就可以提高加热的效率





，以免热量快速散失，一般有金属保温层和复合保温层。

    为了更好的测试
、稳定室内温度，使用测温仪器和控温仪器
，避免温度过高或不达标



，抽气系统由各种真空泵及附件按其各自功能组装使用

，常见的有机械泵
、罗茨泵



、扩散泵
，抽气过程中由真空测量仪器显示真空度

，以保证真空度的精准度



，这些是比较主要的部分.

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