高真空镀膜机一般由以下几部分组成
：真空系统、高真空镀膜工作室

、电气控制与安全保护系统。 采用电阻加热，可加热蒸发各种非难熔的金属与非金属材料
。电极用橡胶圈与真空室底版密封，为了防止在加热时电极过热致使密封破坏
，对电极通水冷却
。电阻加热元件采用高熔点的金属钼片制成舟状

，蒸发材料置于舟内, 本实验中用于蒸发金属银

1、机械泵
：机械泵是利用机械方法来获得低真空的主要设备


，也是高真空机组的前级泵



。机械泵主要有圆柱形定子、偏心转子和滑动翼片组成。机械泵不宜用于抽蒸汽

；转动方向必须是顺时针方向；停止工作后要防止“返油”
，故在抽气口装有电磁阀。

2
、扩散泵
： 当机械泵的极限真空不能满足工作要求时
，通常采用油扩散真空泵来获得高真空


。在油扩散泵的油槽内盛有低蒸气压的硅油

，当硅油被电炉加热沸腾时
，产生的油蒸气先向上

，受阻后从各级喷嘴定向的高速喷出
，当泵内的气体分子扩散到油蒸气中时
，气体分子的被高速定向的油蒸气分子带至油扩散泵的下端

，而被前级机械泵抽出
，而蒸气分子本身遇到水冷后，又凝结成液体流回油槽
，就这样周而复始


，达到连续排气的目地
。利用此技术可使系统处于5×10-5Pa的高真空状态


。必须注意的是：油扩散真空泵不可在小于0.1 Pa的环境中工作
，否则其中的油会因为氧分子浓度过高而高温变质
，降低抽气效率
，也会使油扩散真空泵毁坏
。

 
3
、复合真空计
：真空的测量利用复合真空计。它由两个热偶真空计和一个电离真空计组成

。

（1）热偶真空计是利用稀薄气体状态下气体分子的导热性制成的。压强越高，气体分子碰撞灯丝带走的热量就越多，因此灯丝温度越低

，使得热电偶产生的电动势越大。热偶真空计的测量范围是5×105-1×10-1Pa

。

（2）电离真空计是利用低压气体被快速电子碰撞而电离的规律制成的

。它是一种三极电子管





，将灯丝通以电流使其发射电子

，电子与气体分子碰撞使气体分子电离，离子电流正比与气体分子浓度

，因此可以用电流去测量气体压强


。电离真空计的测量范围是10-1-1×10-5Pa，必须注意的是
：电离真空计不可在小于0.1 Pa的真空中测量，否则会因为离子电流过大而烧毁电离规。

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