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    真空设备维修与保养
    发布时间:2013-12-16 浏览  :6066 次

    真空设备维修与保养

     

    一、冷却风扇过滤器清洁,保养频率 每季度一次                                                                 

        在真空镀膜机工作时    ,由于冷却风扇一直在运行 ,大量的空气经过过滤器过滤后送进设备内部 ,所以长时间运行后会有大量灰尘吸附在过滤器上面 ,会影响通风效果   、冷却效果,具体操作如下   :

        1 、打开设备背面盖板 ;

        2   、将过滤器取出来使用吸尘器清洁过滤器;

        3 、将清洁完的过滤器安装到设备上面;

        4、盖上背面盖板;

        二、冷却水过滤器的清洁,保养频率 每月一次        

           冷却水在真空镀膜设备工作时一直在流动,所以冷却水里面回存在一些杂质   ,这样就会把过滤器堵死  ,从而造成真空镀膜机故障    ,所以尊龙凯时人生就是搏需要定期进行清洁      。具体操作如下:

        1  、将设备关机、降温  ;

        2、将冷却系统的泵停掉;

        3 、将过滤器的进水和出水阀关掉;

        4    、使用扳手将过滤器拆卸下来,过滤器件是不锈钢做的 ,可以把它放入水中用刷子洗刷或者更换个新的  ;

        5 、将清洗过的过滤器从新安装上去  ;

        6、打开进水和出水阀 ,检查有没有漏水

        三、检查VAT碟阀状态 ,有无信号状态错误 ,拆开进行阀体清洁,保养频率 每月度一次

        四  、电气控制柜及电气元件的检查与清洁,保养频率 每季度一次            

        五 、各炉体的检查与清洁,保养频率 每季度一次                          

        六、压力测试仪器矫正,保养频率 每季度一次                            

        七、校正小推车  ,调整后进行紧固,保养频率 每月一次                  

        八 、SLS系统的检查与润滑,保养频率 每月一次                        

        九、LIFT机构的检查与润滑,保养频率 每月一次                      

        十、真空压力测试,保养频率 每月一次                               

        各气体管道连接处的检查    ,气的管道连接处 ,确认无白色晶体物出现   

        十一  、检查真空镀膜设备各水路通道确认无漏处,保养频率 每月一次      
                  

    水路管道连接处的检查   ,水路管道连接处有无漏水    。

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