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    真空镀膜设备维修及注意事项
    发布时间 :2013-12-02 浏览:8253 次

        真空镀膜设备维修中应注意那些问题呢?让东莞尊龙凯时人生就是搏真空高级工程师与你分享.

        1. 正确安装本设备,真空室、电控柜必须安全接地 。
        2. 为保证镀膜质量 ,要注意真空室的卫生 ,必须严格按技术要求执行 。对室体内的零部件应用汽油 、丙酮   、酒精等清洗干净  ,擦干或烘干后方可装入。
        3. 开机前检查各真空泵的机械转动部位是否正常    ,如旋片泵  、罗茨泵过渡传动中的密封等 ,必须经常检查油量和油脂  ,以保证其正常工作 。
        4. 启动压缩机,保证空气压力在0.4Mpa才以上,经常排放压缩机储气罐中的积水 。
        5. 工作完毕后,镀膜室应擦净 ,无污物,保持低真空    ,避免污染真空系统  ,影响真空性能。
        6. 经常检查高压微动开关 ,应安全可靠,如导通不良或损坏   ,须立即更换  。
        7. 工作中如遇突然停电,应立即切断真空测量 ,关闭各手动阀门 ,将扩散泵加热炉提出   ,切不可断冷却水  。
        8.每完成200个镀膜程序以上   ,应清洁工作室一次。方法是 :用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁 ,(注意人体皮肉不可以直接接触烧碱溶液    ,以免灼伤)使镀上去的铝膜(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落 ,并释放出氢气 。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢  。
        9.当粗抽泵(2X-15A维持泵 ,2X-2A旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓    ,放掉旧油  ,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来  。拧回放油螺栓   ,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上 ,换油时应将油盖打开  ,用布擦干净箱内污垢 。
        10.扩散泵连续使用6个月以上  ,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气 ,拆去联结水管   ,卸下电炉盘 ,将一级喷嘴开   ,先用汽油将泵腔及泵芯清洗一遍   ,再用洗衣粉兑水清洗一遍    ,然后用清水彻底清洗干净     ,待水份挥发干以后 ,装好泵芯,加入新扩散泵油 ,并装回机体     ,接好水管 ,装好电炉盘,便可以重新开机        。在重新开机前,要注意检漏工作。方法是 :启动维持泵    ,关好大门 ,数分钟后,观察真空度是否达到6×100帕 ,否则要进行检漏。检查联接处是否漏装密封胶圈    ,或压坏密封圈    。排除漏气隐患后方可加热   ,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。

    以上真空镀膜设备维修及注意事项由东莞尊龙凯时人生就是搏真空提供.

     

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