1
、在低压下





，当阴极和阳极间加上高压时



，引起场致发射。

2、在电

、磁场作用下电子作螺旋运动。

3、电子与气体分子碰撞产生正离子和二次电子
，引起雪崩效应。正离子轰击钛阴极
，溅散出钛原子落在阳极筒上，形成新鲜钛膜

，也有的落在阴板外围区(β区)




。

4、活性气体与新鲜钛膜反应形成化合物
，化学吸附在阳极筒内壁


。隋性气体被电离



，离子在电场作用下轰击阴极过程中被排出。其排除方式为：
1)离子直接打入阴极表面内或β区




，斜射的离子切入阴极表面
，离子和钛一起被掀掉，埋葬在β区，
2)离子没打入阴极内
，从阴极得一电子恢复为中性原子或分子，反射到阳极内表面被埋掉，这叫“荷能中性粒子反射”



。

5

、对于氢

，由于其质量小

，氢离子轰击钛板的溅射产额甚低
，氢离子 H2+ 或 H+ 打到钛板上与电子复合变成H原子，然后扩散入钛的晶格内

，形成TiH固溶体而被排出。常温下这种固溶体中H2的浓度为0.05％，当温度高于250oC以上时
，便又开始分解放出氢


。钛大量吸氢后
。由于放热反应钛板温度上升
，达到250oC以后


，除重新释放氢之外并导致钛板晶格膨胀造成龟裂



。通常需加大钛板的散热能力来改善溅射离子泵对氢的排除能力。要提高对氢的抽速，需保持钛板表面清洁，选用晶格常数较大的β-Ti或钛合金作为阴极板
，或引入与氢可比拟的氩含量

。因氩的溅散产额高，可提高对氢的抽速
。